Now showing items 1-2 of 2

    • Исследование влияния режимов ионно-лучевого распыления на стехиометрию пленок диоксида кремния 

      Телеш, Е. В.; Гуревич, О. В. (БНТУ, 2016)
      Телеш, Е. В. Исследование влияния режимов ионно-лучевого распыления на стехиометрию пленок диоксида кремния / Е. В. Телеш, О. В. Гуревич //Приборостроение-2016 : материалы 9-й международной научно-технической конференции, Минск, 23-25 ноября 2016 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск, 2016. – С. 389-391.
      2017-04-04
    • Формирование пленок SiOF реактивным ионно-лучевым распылением кварцевой мишени 

      Телеш, Е. В.; Гуревич, О. В.; Юшкевич, С. А. (БНТУ, 2017)
      Телеш, Е. В. Формирование пленок SiOF реактивным ионно-лучевым распылением кварцевой мишени / Е. В. Телеш, О. В. Гуревич, С. А. Юшкевич // Приборостроение - 2017 : материалы 10-й Международной научно-технической конференции, 1-3 ноября 2017 года, Минск, Республика Беларусь / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев [и др.]. - Минск : БНТУ, 2017. - ...
      2018-02-07